工業廢氣處理的原理有活性炭吸附法、催化焚燒法、催化氧化法、酸堿中和法、生物洗刷、生物滴濾法、等離子法等多種原理。廢氣處理塔選用五重廢氣吸附過濾凈化系統，工業廢氣處理規劃周密、層層凈化過濾廢氣，效果較***。

工業廢氣的品種頗多，因而針對相應的工業廢氣，選用科創技術，進行技術的的組合與拆分，能夠更***更高效的對污染物進行去除。例如低溫等離子技術與UV光解凈化的組合、轉輪濃縮和高溫等離子體焚燒技術的組合。

以低溫等離子技術與UV光解凈化的組合為例，這兩種辦法的協同運作，使其作業區域互相交融，增強了電子的二次激起，構成場強加強區，擴展了各自的降解功率，使污染物降解完全。